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リモート・プラズマ

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リモート・プラズマ・システム。

リモート・プラズマ (またの名は、ダウンストリーム・プラズマもしくはアフターグロー・プラズマ）は、プラズマと材料の相互作用がプラズマ・アフターグロー（英語版）内のプラズマから離れた場所で発生するプラズマ処理（英語版）方法である[1][2]。

関連項目

リファレンス

  1. ↑ Tommi Kääriäinen; David Cameron; Marja-Leena Kääriäinen; Arthur Sherman (17 May 2013). Atomic Layer Deposition: Principles, Characteristics, and Nanotechnology Applications. Wiley. pp. 21–. ISBN 978-1-118-74742-1
  2. ↑ Alexander Fridman (5 May 2008). Plasma Chemistry. Cambridge University Press. pp. 532–. ISBN 978-1-139-47173-2