近世以降の沿革

• 明治初年時点では全域が安芸広島藩領であった。「旧高旧領取調帳」に記載されている明治初年時点での村は以下の通り。（18村）

永末村、大久保村、小用村、庄原村、高門村、本村、峰村、春田村、宮内村、高村、川西村、上谷村、板橋村、新庄村、是松村、一木村、川手村、実留村

• 明治4年7月14日（1871年8月29日） - 廃藩置県により広島県の管轄となる。
• 明治11年（1878年）11月1日 - 郡区町村編制法の広島県での施行により、行政区画としての三上郡が発足。「奴可三上郡役所」が奴可郡西城町に設置され、同郡とともに管轄。
• 明治22年（1889年）4月1日 - 町村制の施行により、以下の各村が発足。全域が現・庄原市。（5村）
  • 庄原村 ← 庄原村、川手村、宮内村、永末村
  • 高村 ← 高村、川西村、小用村、大久保村
  • 本村 ← 本村、上谷村
  • 峰田村 ← 峰村、春田村
  • 敷信村 ← 板橋村、新庄村、是松村、実留村、一木村、高門村
• 明治31年（1898年）10月1日 - 郡制の施行のため、奴可郡・三上郡・恵蘇郡の区域をもって比婆郡が発足。同日三上郡廃止。